Silicijumski rezonantni senzor diferencijalnog pritiska

Silicijumski rezonantni senzor diferencijalnog pritiska je vrsta rezonantnog senzora proizvedenog korišćenjem tehnologije mikroobrade silikona, posebno dizajniranog za merenje razlike pritiska između dva ulaza pritiska. Njegov osnovni princip je određivanje vrijednosti diferencijalnog pritiska mjerenjem promjene prirodne frekvencije jednog-kristalnog silicijumskog rezonantnog snopa.

 

Savršeno kombinuje prednosti tri napredne tehnologije:

1. Mjerenje diferencijalnog pritiska:Pogodno za kritične aplikacije kao što su merenje protoka i nivoa.

2. Rezonantni princip:Pruža neusporedivu preciznost i dugoročnu-stabilnost.

3. Silicijum MEMS tehnologija:Omogućava minijaturizaciju, serijsku proizvodnju i visoku pouzdanost.

Njegova jezgra je složena mikrostruktura proizvedena na silikonskoj pločici korištenjem MEMS tehnologije.

Osnovna struktura:

• Staklena-silicijum-troslojna{2}}stakla vezana struktura.
• Gornji sloj stakla: Sadrži ulazne rupe pod pritiskom povezane sa stranom visokog{0}}pritiska.
• Donji stakleni sloj: Sadrži ulazne rupe pod pritiskom povezane sa stranom niskog{0}}pritiska.
• Srednji sloj silikona: mikromašinski obrađen i sadrži:

Senzorna dijafragma: Tanka, ali robusna silikonska dijafragma koja osjeća razliku tlaka s obje strane.

Rezonantne grede: Smještene iznad (ili integrirane unutar) senzorske dijafragme, ovo su viseće strukture silikonskog snopa. Obično se unutar jednog senzora nalaze dva identična rezonantna snopa, smještena na sredini i ivici dijafragme, respektivno.

Pogonske elektrode i{0}}elektrode za podizanje: Koriste se za pobuđivanje rezonantnih zraka u vibraciju i otkrivanje njihove frekvencije vibracije.

Operativni proces:

• Primijenite diferencijalni pritisak: Visoki tlak (P1) i nizak tlak (P2) djeluju na obje strane senzorske membrane.
• Deformacija dijafragme: Razlika u pritisku uzrokuje da osjetilna membrana prođe malu deformaciju savijanja.
• Generiranje naprezanja: Ova deformacija stvara raspodjelu naprezanja na dijafragmi:

Rezonantna zraka u centru dijafragme doživljava pritisak na pritisak.

Rezonantni snop na rubu dijafragme doživljava vlačni napon.

Promjena frekvencije:

Prema rezonantnom principu, tlačno naprezanje uzrokuje smanjenje njegove rezonantne frekvencije.

Vlačni napon uzrokuje povećanje njegove rezonantne frekvencije.

Diferencijalno mjerenje: Senzor mjeri razliku frekvencije između dva rezonantna snopa (Δf=f₁ - f₂).

Izlaz je razlika između dvije rezonantne frekvencije, što nudi značajne prednosti:

Uobičajena-odbijanje greške u načinu rada:

• Temperaturni efekti:Ako se temperatura poveća, frekvencije oba rezonantna snopa se mijenjaju u istom smjeru (npr. oba se smanjuju), ali njihova frekvencijska razlika ostaje nepromijenjena.
• Efekti statičkog pritiska:Sličan statički pritisak primijenjen na obje strane na sličan način djeluje na oba snopa, a njihova frekvencijska razlika također ostaje stabilna.
• Izuzetno visoka preciznost i rezolucija:Frekvencija se može meriti sa izuzetnom preciznošću, što rezultira veoma visokom rezolucijom senzora i ponovljivošću, sa preciznošću koja dostiže ±0,075% ili čak više.
• Inherentno digitalno:Izlaz je frekvencijski signal, koji nudi snažnu sposobnost protiv -smetnji i lak za obradu digitalnim sistemima.

Popularni tagovi: Silicijum rezonantni senzor diferencijalnog pritiska, Kina dobavljači silikonskog rezonantnog senzora diferencijalnog pritiska, DC senzor struje, Senzor elastičnog pritiska, mijehovi visokog pritiska, Pritisna membrana, Senzor prenosnika pritiska, Rezonantni senzor pritiska