Piezorezistivni akcelerometar

Srž piezorezistivnog akcelerometra je piezorezistivni efekat. Koristi mikromašinsku konzolnu gredu ili otpornu masu napravljenu od poluvodičkih materijala kao što je silicijum. Kada akcelerometar doživi ubrzanje, inercijska sila uzrokuje deformaciju mase dokaza. Ova deformacija rasteže ili sabija piezorezistivni materijal pričvršćen za snop, što dovodi do promjene njegovog električnog otpora. Mjerenjem ove promjene otpora (obično korištenjem Wheatstoneovog mosta), veličina ubrzanja može se precizno izračunati.

Zbog svog jedinstvenog principa rada, piezorezistivni akcelerometri nude visoku osjetljivost, širok raspon mjerenja, robusnu strukturu i visok{0}}frekventni odziv. Međutim, oni općenito imaju veću potrošnju energije i osjetljivi su na temperaturu (zahtijevaju temperaturnu kompenzaciju).

Na osnovu ovih karakteristika, njihove primjene su prvenstveno fokusirane na polja koja zahtijevaju mjerenje visokih-učestalosti, visokog-uticaja (visoki-g), dinamičkih događaja.